미세구조제어연구실 (Microstructure Engineering lab)
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연구실 소개
나노구조재료(Nanothin film, Nanowire, Nanoparticle 등)와 나노결정재료(Nanocrystalline Material)의 기계적, 전기적, 화학적 특성은 기존 벌크재료에 비해 미세구조의 영향을 많이 받습니다. 따라서 미세구조제어연구실에서는 합금 및 공정 설계를 통해 이들 재료의 결합, 결함, 결정립 등 미세구조를 제어함으로써 재료의 특성을 향상하고 평가함으로써 이를 소자에 적용하는 연구를 활발히 수행하고 있습니다.
주요 연구내용
- 합금 및 후처리를 통한 고신뢰성의 차세대 유연전자소자용 금속 박막 설계
- 증착 공정 제어를 통한 전자재료용 박막재료(금속 및 세라믹 박막)의 미세구조 설계
- 투과주사전자현미경을 이용한 다양한 나노구조재료의 미세구조 분석
- 실시간 인장변형 및 피로변형을 통한 재료의 기계적 특성과 수명 평가
연구 관련 사진

대표 연구업적
주요논문
- Selective crack suppression during deformation in metal films on polymer substrates using electron beam irradiation, S.-Y. Lee, G. R. Park, S.-G. Kang, J.-H. Lee, E.-C. Jeon, C.-H. Shim, J.-P. Ahn, D.-I. Kim, H. N. Han, Y.-C. Joo*, C. Kim* and I.-S. Choi*, Nature Communications (2019)
- Bonding structure and etching characteristics of amorphous carbon for a hardmask deposited by DC sputtering, S.-Y. Lee, K.-T. Jang, M.-W. Jeong, S. Kim, H.-Y. Park, G.-T. Kim, G.-D. Lee, M.-Y. Kim, and Young-Chang Joo*, Carbon (2019)
- Transmission Orientation Imaging of Copper Thin Films on Polyimide Substrates Intended for Flexible Electronics, S.-Y. Lee, H.-W. Guim, D.-I. Kim, Y.-C. Joo, C.-H. Shim, J.-P. Ahn, I.-S. Choi, and M. Abbasi*, Scripta Materialia (2017)
- C. Kim, K. Son, G. Kim, S. Kim, S.-K. Lee, S.-Y. Lee, Y.-B. Park* and Y.-C. Joo*, “A study on the interfacial adhesion energy between capping layer and dielectric for Cu interconnects”, Microelectronics Reliability (2020)
- Improved Battery Performance of Nanocrystalline Si Anodes Utilized by Radio Frequency (RF) Sputtered Multifunctional Amorphous Si Coating Layers, I.-K. Ahn, Y.-J. Lee, S.-K. Na, S.-Y. Lee, D.-H. Nam, J.-H. Lee*, and Y.-C. Joo*, ACS Applied Materials & Interfaces (2018)
- 2D reentrant auxetic structures of graphene/CNT networks for omnidirectionally stretchable supercapacitors, B. S. Kim, K. Lee, S. Kang, S.-Y. Lee, J. B. Pyo, I.-S. Choi, K. Char, J. H. Park, S.-S. Lee, J. Lee and J. G. Son*, Nanoscale (2017)
주요특허
- 최인석, 이소연, 이지훈, 주영창, "유기물과 금속의 복합체", 10-1669981, 2016